Российские разработчики впервые освоили производство установок, предназначенных для производства электронных микрочипов, обладающих проектными нормами до 65 нанометров. Они включают в себя передовые технологии высокоточного травления и осаждения заготовок при помощи химически активных частиц плазмы, а изготовленные таким образом чипы в перспективе смогут использоваться в интегральных микросхемах для силовой электроники, микроконтроллеров и процессоров для устройств «интернета вещей».
Как сообщила пресс-служба Минпромторга, ключевой особенностью установок стало то, что заготовки обрабатываются в безвоздушной среде - это значительно снижает риск появления посторонних включений и позволяет повысить качество изготавливаемой продукции.
«Внедрение нового оборудования позволит усовершенствовать производственные процессы и станет хорошим подспорьем для развития полного цикла изготовления отечественной микроэлектроники», - подчеркнули в ведомстве.
Читайте подробнее: Российские ученые создали важное оборудование для производства микрочипов